MICRONANOFAB

Fabrica microfluidica pentru auto-asamblarea asistata a nanosistemelor


Program Operational Sectorial "Cresterea Competitivitatii Economice"
"Investitii pentru viitorul dumneavoastra"

 

 

home
   

Program Operational Sectorial "Cresterea Competitivitatii Economice"
"Investitii in viitorul dumneavoastra"

   
 
Contact | Pagina principala
 
Contact
 
 

REZULTATE ETAPA a 2-a

1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla

1C -Tehnologie realizarea a elementelor microfluidice in polimeri

****************************************************

raportam trei activitati de cercetare:

  • 1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla (Ciprian Iliescu, Marioara Avram, Radu Popa, Antonio Radoi);
  • 1C - Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat polimeric (Marioara Avram, Andrei Avram, Antonio Radoi, Adina Bragaru);
  • 5A - Proiectarea miniechipamentului de corodare uscata cu XeF2 (Ciprian Iliescu, Andrei Avram).

****************************************************

1A -Elaborarea tehnologiilor de fabricatie a platformelor microfluidice pe substrat de sticla

Subactivitatea 1.A.1 Proiectarea tehnologiei
1.A.1.1 Evaluarea compozitiei diferitelor sticle si stabilirea compatibilitatii compozitie – parametri de proces

Rezultate obtinute:

  • Au fost realizate studii experimentale de evaluare a eficientei a trei tipuri de sticla pentru microfluidica (sticla Hoya SD – 2; sticla SODA LIME si sticla Corning 7740).
  • Aceste studii au stat la baza selectiei tipului optim de sticla pentru realizarea ulterioara a platformelor microfluidice, respectiv Corning 7740
  • A fost analizata  comparativ, pe sticla Corning 7740 si sticla Soda Lime, influenta parametrilor de proces (compozitia solutiei si timpul de procesare) asupra calitatii suprafetelor

1.A.1.2 Evaluarea eficientei diverselor straturi de mascare folosite pentru microprelucrarea sticlei

Rezultate obtinute:

  • A fost dezvoltata tehnologia de corodare a sticlei prin straturi de mascare metalice care au stress tensil (CrAu, TiAu, CrCu)
  • A fost dezvoltata tehnologia de corodare a sticlei folosind straturi de mascare fara tensiuni reziduale
  • Au fost testate urmatoarele straturi de mascare: Si amorf depus in sistem PECVD; Si3N4 si polisiliciu depus LPCVD; Siliciu monocristalin; Carbura de Si amorfa; multistraturi
  • A fost analizata influenta caracterului hidrofil sau hidrofob al stratului de mascare utilizat, asupra gravarii sticlei
     
Subactivitatea 1.A.2 Expetimentarea tehnologiei
     

1.A.2.1 Determinarea vitezei de corodare a sticlei in functie de conditiile de proces si stabilirea conditiilor optime de procesare


Rezultate obtinute:
A fost analizata influenta concentratiei solutiei de corodare pe baza de HF; tratamentul termic al plachetei, materialului folosit ca masca de corodare; metoda de agitare a solutiei in timpul corodarii; temperatura solutiei asupra vitezei de corodare a sticlei.

     
 

1.A.2.2 Modificarea controlata a suprafetelor de sticla

Rezultate obtinute: Au fost evaluate tehnicile de functionalizare a suprafetelor.

 

Subactivitatea 1.A.3 Validarea tehnologiei pe structuri test (proiectare, realizare si caracterizare structuri test)


Rezultate obtinute:
Teste de corodarea sticlei prin masca de Si amorf

 

 

****************************************************

1C -Tehnologie realizarea a elementelor microfluidice in polimeri
     
Subactivitatea 1.C.1. Realizarea canalelor microfluidice in PDMS
     

Rezultate obtinute: Au fost dezvoltate procese tehnologice de obtinere a matritelor din SU8 pentru realizarea platformelor microfluidice in PDMS, prin tehnici de corodare umeda si corodare uscata.

 

Subactivitatea 1.C.2. Dezvoltarea tehnologiilor de sudare PDMS/Sticla
     

Rezultate obtinute: Au fost experimentate 2 metode de sudura PDMS/Sticla: reversibila – prin folosirea unui adeziv si ireversibila a sticlei – prin activare in plasma de oxigen.
Au fost testate diferite metode de sudura PDMS/sticla si selectia variantei optime pentru aplicatiile dezvoltate in proiect.

 

Proiectarea miniechipamentului de corodare uscată cu XeF2

Instalatia de XeF2 este destinata prelucrarii uscate in atmosfera gazoasa a siliciului. Prelucrarea se face in vid, fiind o prelucrare izotropa.

     
 
Top
 
home

Proiect cofinantat prin Fondul European de Dezvoltare Regionala.
Pentru informatii detaliate despre celelalte programe operationale cofinantate de Uniunea Europeana va invitam sa vizitati www.fonduri-ue.ro.
Continutul acestui material nu reprezinta in mod obligatoriu pozitia oficiala a Uniunii Europene sau a Guvernului Romaniei.
Copyright © 2010 | Toate drepturile rezervate.