WALES
Sistem de incapsulare pe placheta pentru structuri MEMS


Despre proiect Rezultate estimate Echipa proiectului Pagina principala

¤ Descrierea proiectului

Proiectul isi propune sa dezvolte o metoda de realizare a incapsularii la nivel de placheta a structurilor.

Realizarea structurilor MEMS (Micro-Electro-Mechanical Structures) a cunoscut o dezvoltare fara precedent in ultimile doua decade, impactul fiind resimtit in toate domeniile (de la cel militar, in telecomunicatii, industrie, medicina sau in viata cotidiana), unul dintre factorii decisivi constand in dezvoltarea tehnologiilor de microprelucrare (de suprafata si de volum).



Pentru structurile MEMS incapsularea la nivel de placheta este esentiala pentru functionare deoarece contin elemente care sunt deformabile sau efectueaza o anumita miscare; fara o protejare a structurilor acestea pot fi deteriorate in cursul proceselor de taiere, a lipirii firelor sau a masuratorilor pe placheta.

Mai mult, in timp functionarea lor este afectata de mediul in care functioneaza (umiditate, praf etc) si duce la degradarea parametrilor si chiar la defectarea lor.

Metoda propusa consta in protejarea structurilor utilizand un capac solid care se aplica peste structurile MEMS. Capacul se va realiza din siliciu, prin microprelucrarea mecanica a plachetelor – in acest scop putem utiliza atat corodarea umeda, cat si cea uscata pentru a fabrica structurile dorite.

Conectarea structurilor incapsulate urmeaza sa fie facuta prin intermediul unor treceri metalizate fabricate in capacele care sunt aplicate pe structuri.

Realizarea sistemului de incapsulare pe placheta necesita indeplinirea a doua obiective majore:

  • realizarea de treceri conductive prin plachete
  • punerea la punct a proceselor de bonding necesare incapsularii. Pentru atingerea celor doua obiective principale ale proiectului trebuie indepliniti o serie de pasi intermediari esentiali pentru abordarea propusa.
 
Inapoi la pagina principala
 

¤ Proiect coordonat de:

Institutul National de Cercetare-Dezvoltare pentru Microtehnologie- IMT Bucuresti
http://www.imt.ro/

 

¤ Proiect finantat de:

Informatii generale   Contact
Proiect finantat in cadrul PNII, Programul Resurse Umane, Proiecte de cercetare pentru stimularea constituirii de tinere echipe de cercetare independente PN-II-RU-TE-2014-4.
Contract Nr. 331/1.10.2015
 

Institutul National de Cercetare-Dezvoltare pentru Microtehnologie- IMT Bucuresti
Director de proiect: Dr. Dan Vasilache
E-mail: dan[dot]vasilache[at]imt[dot]ro
Tel:  +40-21-269.07.70; +40-21-269.07.74;
Fax: +40-21-269.07.72; +40-21-269.07.76;
Website: www.imt.ro

Copyright © 2015 Institutul National de Cercetare-Dezvoltare pentru Microtehnologie-IMT Bucuresti. Toate drepturile rezervate.