Obiective

Scopul principal al proiectului este realizarea unor truse portabile continand micro/nanosenzori de prag  care sa sesizeze contaminanti din mediul acvatic (ape curgatoare interne si de frontiera, lacuri, fantani). Este vorba de arii de microsenzori dubli MOS/PIEZO de prag care sa semnalizeze depasirea pragului admis la anumite substante de tipul pesticide, metale grele, hidrocarburi - microsenzorii MOS (metal-oxid-semiconductori tip ISFET) sunt diferentiali iar microsenzorii piezoelectrici contin materiale nanostructurate detectoare. Cele doua tipuri de microsenzori sunt integrati (fie pe acelasi substrat fie prin tehnici MCM-multi chip module).

Obiectivele stiintifice generale sunt:

• Proiectarea si  dezvoltarea unei tehnologii de realizare a structurilor de microsenzor demonstrator de tip MOS diferential;
• Dezvoltarea metodelor  de obtinere a substantelor senzitive si a tehnologiilor de compatibilizare cu substratul MOS (metal-oxid-semiconductor);
• Proiectarea si  dezvoltarea unei tehnologii de realizare a structurilor de  microsenzor demonstrator de tip SHSAW pe substrat piezoelectric nestandard;
• Dezvoltarea metodelor  de obtinere a substantelor senzitive si a tehnologiilor de compatibilizare cu substratul piezo microprocesat;
• Proiectarea si dezvoltarea unei tehnologii de realizare a unui microsenzor cu arii de nanocoloane de ZnO pe substrat  piezoelectric nestandard sau pe Si;
• Dezvoltarea metodelor de asamblare a ariilor de microsenzori prin tehnici MCM sau integrare pe substrat de siliciu monocristalin;
• Realizarea truselor de detectie;
• Verificarea ariilor de microsenzori pe aplicatie specifica (ME) – demonstrare a functionalitatii si utilitatii (detectie posibila si realizata).