| |
1. Porozificare electrochimica a siliciului
Contact: Irina Kleps ([email protected] ), Laboratorul de Nanotehnologii
Descrierea: Realizarea unui strat de siliciu poros (PS) cu proprietati controlate, de grosime intre 2 si 500 mm pe plachete de siliciu de 4” diametru, de tip p+ sau n+. Realizarea unei membrane de siliciul mezo- sau macroporos, de grosime 550mm.Echipament: Instalatie de corodare a siliciului (A.M.M.T., Germany);
Beneficiari : Laboratoare cu profil de cercetare;
IMM-uri cu activitate in domeniul dispozitivelor / microsistemelor pe siliciu sau in domeniul biomedical |
 |
| |
2. Structuri test de micro si nanoelectrozi
Contact: Irina Kleps ([email protected] ), Laboratorul de Nanotehnologii
Descrierea: Proiectare si realizarea tehnologica, la cerere, a unor configuratii variabile, de micro si nanoelectrozi tip retea (la acelasi potential), electrozi interdigitali, sau electrozi multipli cu adresare individuala.
Beneficiari : IMM-uri cu activitati in domeniul senzorilor sau biosenzorilor ;
Laboratoare de cercetare care studiaza noi straturi senzitive . |
|
| |
3. Proiectare şi simulare CAD de microstructuri şi microsisteme
Contact: Ing. Carmen Moldovan ([email protected]), Lab. de microstructuri pt. aplicatii bio-medicale
Descrierea: Funcţionează ca un mediu integrat, permiţând proiectare, modelări comportamentale, analize numerice 3D pentru aproape orice tip de MEMS, de la accelerometre la dispozitive RF, sau de la senzori optici la dispozitive de microfluidică.
Ex. de simulare CoventorWare: harta de distributie a temperaturii
Serviciul de proiectare si simulare a dispozitivelor MEMS utilizand CoventorWare este disponibil in cadrul Laboratorului de de Microstructuri şi Microsisteme pentru Aplicaţii Bio-medicale şi de Mediu. |
|
| |
4. Proiectare/simulare asistata de calculator componente microfotonice pasive si active
Contact: Dr. Ing. Dana Cristea ([email protected]), Laboratorul de Microfotonica
Descrierea: Programele software disponibile: Opti-FDTD –v.4.02 (2004) pentru analiza a circuitelor de optica integrata; OptiHS pentru analiza proprietatilor optice ale dispozitivelor fotonice pe baza de heterostructuri din compusi AIIIBV; Opti-BPM 7.02 (2005)- pentru proiectare circuite fotonice complexe bazate pe ghiduri optice; Opti Grating- destinat proiectarii fibrelor sau ghidurilor optice care au retele de difractie incorporate.
Beneficiari :
- pentru serviciile de instruire
· doctoranzi si studenti in anii terminali – (Fac. Electronica, fac, Fizica, Fac. Automatica) - programe comune UPB-IMT
· tineri cercetatori din institute de cercetare sau IMM
- pentru serviciile de proiectare
· IMM-uri cu activitate in domeniile: comunicatii, senzori
· Institutele de cercetare partenere
|
|
| |
5. Masuratori elipsometrice - pentru analiza straturilor subtiri multiple de diverse materiale: dielectrici, oxizi conductivi, polimeri, semiconductori
Contact: Dr. Ing. Dana Cristea ([email protected]), Laboratorul de Microfotonica
Descrierea: Analiza si determinarea constantelor optice ( n-indicele de refractie, e- constanta dielectrica, k-coeficientul de extinctie) si metrice (dimensionale) prin prin masuratori elipsometrice in UV-VIZ
Echipament: Elipsometru Spectral pentru domeniul UV/VIS (240 – 750 nm ) SE 800 XUV, SENTECH
 Caracteristici tehnice
Domeniul spectral:240 – 750 nm
Substrat: opac sau transparent
Straturi: minim trei straturi sau mai multe functie de proba de analizat
Diametru spot: 1 - 4 mm ajustabil
Software operare :SPECTRARAY II /WINDOWS pentru analiza datelor masurate (Y, D ) si determinarea lui n(l) si (l)
Beneficiari : IMM-uri cu activitati in domeniul senzorilor sau biosenzorilor;
Institutele de cercetare partenere. |
|
| |
6. Spectrofotometrie
Contact: Dr. Ing. Dana Cristea ([email protected]), Laboratorul de Microfotonica
Descrierea: Caracterizarea optica a straturilor subtiri prin spectrofotometrie de transmisie si reflexie.
 Echipament: Spectrofotometru -SPECORD M42 cu doua fascicule in domeniul ultraviolet-vizibil-infrarosu apropiat (200 – 900 nm) prin transmisie si reflexie asistat de un PC cu software specializat pentru comanda aparatului.
Prin prelucrarea spectrelor T(l) si R(l) se determina coeficientul de absorbtie-a (l) si banda interzisa- Eg pentru filmele semiconductoare si dielectrice
Beneficiari : IMM-uri cu activitati in domeniul senzorilor sau biosenzorilor ;
Laboratoare de cercetare care studiaza noi straturi senzitive.
|
|
| |
7. Caracterizare morfologica a suprafetelor prin Microscopie de Forta Atomica
Contact: Fiz. R.Gavrila ([email protected]), Laboratorul de Caracterizare
Descrierea: Se utilizeaza pentru investigarea topografiei suprafetelor si caracterizarea cantitativa la scara micro si nanometrica a unor particularitati ale acestora (textura, rugozitate, inaltimi de trepte, dimensiuni critice etc). Rezolutie x, y: 20 nm; Rezolutie z: 2 nm
Beneficiari : In special din zona cercetarii aplicative. |
|
|
8. Microscopie electronica de baleiaj (SEM)
Contact: Fiz. A. Dinescu ([email protected]),
Laboratorul de Caracterizare
Descrierea: Investigatii de natura topografica si compozitionala la scara micro si nanometrica.
Beneficiari : In special din zona cercetarii aplicative. |
|
| |
9. Caracterizare electrotermica a micro si nanostructurilor pe (domeniu de temperaturi 25 - 300 °C)
Contact: Ing C.Codreanu ([email protected]), Laboratorul de Caracterizare |
|
| |
10. Efectuare incercari mecano-climatice si de functionare de durata pentru produse ale microtehnologiilor
Contact: Virgil Emil Ilian ([email protected]), Laboratorul de Fiabilitate
Descrierea: Incercari mecano-climatice: incercare robustete terminale, sudabilitate, acceleratie constanta, vibratii, ceata salina, cicluri termice, etanseitate.
Incercari de functionare de durata (normale si accelerate): stocare la temperatura, functionare la temperatura.
Beneficiari : fabricanti si utilizatori de produse ale microtehnologiilor. |
|
| |
11. Proiectare programe de incercari pentru produse ale microtehnologiilor
Contact: Virgil Emil Ilian ([email protected]), Laboratorul de Fiabilitate
Descrierea: Programe de incercari accelerate pentru monitorizarea fiabilitatii loturilor de produse ale microtehnologiilor.
Programe de incercari accelerate pentru calcularea nivelului de fiabilitate al unui lot de produse ale microtehnologiilor.
Programe de incercari de imbatranire termica accelerata pentru verificarea fiabilitatii modulelor electronice in care intra produse ale microtehnologiilor.
Beneficiari : fabricanti si utilizatori de produse ale microtehnologiilor. |
|
| |
12. Diagnoza de fiabilitate pe produse / procese ale microtehnologiilor
Contact: Marius Bazu ( [email protected] ), Lab. de Fiabilitate
Descrierea: Analize de fiabilitate (incercari / stabilirea mecanismelor de defectare / prelucrarea datelor / actiuni corective) pentru produse ale microtehnologiilor.
Beneficiari : fabricanti si utilizatori de produse ale microtehnologiilor. |
|
| |
13. Servicii de asistenta si consultanta tehnologica
Contact: Dr.ing. Cernica Ileana Viorica ([email protected] ), Atelier de dezvoltare prototipuri
Descrierea: asistenta in intocmirea fluxurilor tehnologice si/sau consultanta in realizarea structurilor si dispozitivelor pentru:
- Tehnologii MOS de realizare a structurilor de dispozitive discrete si circuite integrate
- Tehnologii de realizare a microdetectoarelor de radiatii
- Tehnologii de asamblare MCM
- Tehnologii standard de asamblare
- Compatibilizari tehnologice
Se pot detalia procese individuale ca : implantare ionica, curatiri chimice, tratamente de recristalizare a substratelor implantate, oxizi termici ultracurati, sudura structuri si fir.
Beneficiari : IMM-uri sau producatori de dispozitive MEMS si/sau senzori si MEMS, colective de cercetare in domeniul microsistemelor (microelectronica inclusa) |
|
| |
14. Servicii de obtinere a prototipurilor pornind de la ME (demonstrator)
Contact: Dr.ing. Cernica Ileana Viorica ( [email protected] ), Atelier de dezvoltare prototipuri
Descrierea: Intocmire documentatie de realizare prototip pornind de la fluxurile tehnologice preliminare ale ME
- Stabilirea parametrilor de control tehnologic, a portilor de control si a specificatiei de control pe flux pornind de la documentatia ME
- Pilotarea tehnologica a lotului pentru obtinerea prototipului
- Optimizare tehnologica
- Realizarea documentatiei finale de omologare prototip
Beneficiari : IMM-uri sau producatori de dispozitive MEMS si/sau senzori si MEMS, colective de cercetare in domeniul microsistemelor (M(O)EMS, senzori,microelectronica) |
|
| |
15. Analiza de defecte
Contact: Dr.ing. Cernica Ileana Viorica ([email protected] ), Atelier de dezvoltare prototipuri
Descrierea: Analiza de defecte/ratari procese tehnologice/subfluxuri pentru micro-nanotehnologii
- Analiza de defecte structura senzori, M(O)EMS sau c.i. CMOS
- Analiza de defecte dispozitiv/c.i. CMOS
|
|
Analiza defecte: Ratare proces tehnologic individual: depunere strat
pasivare structuri prin metoda sol-gel
|
Beneficiari: IMM-uri sau producatori de dispozitive MEMS si/sau senzori si MEMS, colective de cercetare in domeniul microsistemelor (M(O)EMS, senzori,microelectronica).
|
