Activitati (6)
Microconfigurare cu laser
A fost realizat aranjamentului experimental al echipamentului de patternare cu laser (laser cu YAG:Nd, sau cu excimeri tip KrF+ echipament de pozitionare si control , echipament de vizualizare, incinta etansa echipament de vidare, fereastra de UV, obiectiv de focalizare) si s-au efectuat experimente de scriere:
Imaginea unor linii inscriptionate cu laser pe siliciu	Imagini de litere inscriptionate laser pe siliciu