Microsisteme ce se vor dezvolta[...]

 
   
 
   
 

Rezultate

Filtre reconfigurabile microprelucrate destinate unor front-enduri pentru sistemele de comunicatii mobile "3G" si "beyond 3G" si anume un filtru destinat unui front-end reconfigurabil pentru retelele de comunicatii mobile care suporta standardele: DCS 1800MHz si WLAN 5.2 GHz.


Structuri de filtru reconfigurabil destinat front-end pentru retele de comunicatii mobile pentru standardele DCS 1800 si WLAN 5.2 GHz-proiectare si experimentari tehnologice


Layout-ul sectiunii suspendata pe membrana din filtrul reconfigurabil
 

Layout-ul sectiunii plasate pe volumul de siliciu din filtrul reconfigurabil

Raspunsul simulat al filtrului reconfigurabil cu comutatoarele in starea JOS, pentru banda 1.8 GHz

Raspunsul simulat al filtrului reconfigurabil cu comutatoarele in starea SUS, pentru banda WLAN


Primele experimentari tehnologice s-au axat  in special pe procesele de obtinere a structurilor de filtre cu puntilor aeriene. Detaliu din regiunea puntii aeriene realizate pe membrana

Detaliu al filtrului reconfigurabil
prezentand o imagine optica a
unui inductor spirala pe membrana

Imagine SEM a capacitorului
interdigitat (detaliu)

 

S-a realizat un model conceptual de filtre reconfigurabile microprelucrate destinate unor front-enduri pentru sistemele de comunicatii mobile "3G" si "beyond 3G" si anume un filtru destinat unui front-end reconfigurabil pentru retelele de comunicatii mobile care suporta standardele: DCS 1800MHz si WLAN 5.2 GHz.

Fotografie optica cu structura modelului conceptual de filtru  DCS1800 in starea ON

Imagine SEM a unei punti aeriene

Masuratorile de parametrii S in gama de frecventa 1-8 GHz s-au efectuat utilizand sistemul de masura "on-wafer" Suss MicroTec si Analizorul vectorial 37397D de la Anritsu, echipamente aflate in prezent in dotarea laboratorulu nostru, achizitionate cu fonduri pe Programul National de Capacitati cat si din fonduri pe programul European PC7, REGPOT.
S-a obtinut o buna concordanta intre valorile masurate si cele rezultate din simulari, cu observatia unei usoare deplasari de 34 MHz la frecventa centrala. Pierderile masurate sunt cu 1.8 dB peste cele simulate

Raspunsul in frecventa
(valori din simulari-linie continua si
valori masurate-patrate) pentru
filtru reconfigurabil cu
comutatoare ideale in stare "ON"

Detaliu din raspunsul in frecventa
pentru filtru reconfigurabil cu comutatoare
ideale in stare "ON
"

 

Filtrul WLAN 5.2 s-a realizat pe plachete de siliciu de mare rezistivitate (ρ>2 kΩcm), de orientare <100> si cu grosimea de 400 µm. Componentele esentiale se realizeaza pe membrana dielectrice obtinuta prin microprelucrare. Structura de filtru este vizibila datorita transparentei membranei dielectrice in imaginea SEM

Fotografie SEM a filtrului -
vedere de sus
Fotografie SEM a filtrului -
vedere de jos
Raspunsul in frecventa pentru filtrul WLAN

 

Rezultatele arata o atenuare de trecere de min 2.75 dB la 5.5 GHz in timp ce la 8 GHz prezinta o atenuare mai mare de 40 dB

 

S-a depus la OSIM o cerere de brevet intitulat "Aparat pentru prelucrarea semnalului provenit de la carduri RFID care functioneaza prin modularea semnalului retroimprastiat" - autori V Buiculescu, D. Neculoiu, A. Muller. Cererea de brevet a fost inregistrata la OSIM cu nr A/01073/08.11.2010.

Pe tot parcursul proiectului cercetarile au fost raportate in 15 articole ISI si 33 de comunicari la conferinta internationale, o carte si un capitol de carte. Cele mai importante articole ISI au fost publicate in IEEE Trans on MTT, Electron Devices Letters, Electron Letters, High Performance Polymers, J. Polym. Sci. Part A: Polym. Chem., Applied Optics.

Colectivele din consortiul MIMFOMEMS au participat pe tot parcursul proiectului la apelurile de proiecte din cadrul Programului Cadru 7 si din programele conexe FP7. Cercetatorii romani au facut parte din 14 consortii care au propus tot atatea proiecte in diferitele Call-uri FP7. Dintre acestea 6 au fost castigatoare: doua proiecte in FP7, trei proiecte ENIAC si un proiect MNT-ERA Net.


Dispozitiv TAG pentru un sistem de identificare in unde milimetrice (MMID) la frecventa de 60GHz
- receptor microprelucrat integrat monolithic pe membrane de GaAs utilizand diode Schottky si antene Yagi-Uda integrate pe membrana


Structura de dioda Schottky
simpla realizata pe
substrat de GaAs

Analiza topografiei prin
interferometrie in
lumina alba a structurilor de
diode realizate

S-a realizat un model conceptual de receptor integrat monolitic pentru 60GHz, pe membrane de GaAs, utilizabil ca tag pentru un sistem de identificare in unde milimetrice (MMID) la frecventa de 60GHz. Tagul este bazat pe un modul de receptie direct, microprelucrat, realizat prin integrarea monolitica a unei antene foded slot cu o dioda Schottky cu frecventa de taiere >1THz, ambele avand ca suport aceeasi membrana de GaAs, de grosime de 2mm. Dioda din modulul de receptie este o dioda Schottky fara substrat ("membrane Schottky").

Structura de receptor integrat cu
antenna slot  dublu foldat
pentru 60 GHz

Montajul experimental pentru
masuratorile in microunde ale
receptorului

Curentul DC de polarizare a fost de 1 mA. La o frecventa de lucru de 61 GHz, la iesirea sursei "mm" sau masurat 7.74 dBm. Pentru un castig de 20 dBm al antenei horn, senzitivitatea isotropica masurata in tensiune este de 20.000 mV/mW, castigul antenei dublu foldate fiind inclus in acest rezultat.

Tensiunea masurata experimental in dioda Schottky
functie de frecventa


Fotodetector in ultraviolet pe GaN utilizand tehnici de microprelucrare

Imagine SEM astucturii detector MSM pe membrana de GaN



Structura MSM UV fotodetector pe membrana de GaN


Detaliu cu zona interdigitata a unei structuri de fotodetector UV pe membrana de GaN


 
 
webmaster