“SISTEM DE MICROSENZORI PIEZOELECTRICI, DE MASURARE,
ANALIZA SI CONTROL MULTIPARAMETRU, INTEGRAT 3D”
PIEZOSENZ

 

 

 

 

 

 

Webmaster

 

English version

DESCRIERE PROIECT

Scopul proiectului este de a dezvolta un sistem integrat pentru interfaţarea a cinci tipuri de senzori rezonanţi sensibili pentru măsurarea de temperatură, forţă, presiune, viscozitate, diverse concentraţii de substanţe chimice. Structurile rezonante care urmează sa fie dezvoltate vor funcţiona pe bază de unde de forfecare în volum (thickness shear), pentru care teoria modului de funcţionare este fundamentată. Vor fi utilizate tehnologii avansate nu numai in domeniul realizarii microsenzorilor dar si in domeniul asamblarii acestora (asamblare 3D).

Aplicatiile vizeaza mai multe sectoare de activitate industrială, agricultura, în medicina şi protecţia mediului. Pentru a îndeplini acest scop este necesară o cercetare interdiscilinara deoarece se vizeaza dezvoltarea/cercetarea de material(substrate piezoelectrice nestandard), cercetarea in domeniul simularii/modelarii de dispozitiv, cercetarea in domeniul tehnologiilor de microsistem(obtinerea de microsenzori pe substrat piezoelectric impune dezvoltare de procese tehnologice individuale de depunere straturi, litografie etc), cercetarea in domeniul asamblarii – senzorilor – asamblare 3D si a senzorilor cu electronica de analiza de semnal- tehnici MCM-pentru obtinerea sistemului intelligent de detectie, analiza si control. Pentru a putea indeplini aceste 3 deziderate este necesara dezvoltarea de lay-out-uri speciale si de substante sensitive speciale (unele posibil nanostructurate)