• WLI - Interferometru cu lumina alba; [...]
    Persoana de contact: Dr. Alexandru Muller
  • Analizor de spectru (<10MHz) - 40GHz expandabil pana 110 GHz cu mixere externe; [...]
    Persoana de contact: Fiz. Dan Vasilache
  • VNA - Modul de extindere a gamei de frecvente de la 65 GHz la 110GHz al analizorului vectorial; [...]
    Persoana de contact: Dr. Alina Cismaru

WLI - Interferometrul in lumina alba (WLI - white light interferometer) este un echipament care realizeaza profilometria optica fara contact, bazata atat pe tehnici de interferometrie cat si pe algoritmi de procesare digitala de semnal si ofera masuratori 3D rapide, precise si reproductibile pentru profilul suprafetelor.


Caracteristici tehnice:
Principiul de masurare

  • Interferometrie in lumina alba
  • Inteferometrie in lumina monocromatica (phase shift)
  • Interferometrie in lumina alba dinamica
  • Rezolutie verticala maxima 0.1 nm; rezolutie orizontala: 0.3 la 4.7 µm, in functie de obiectiv
  • Topografie-3D si profilometrie 3D a suprafetelor, masuratori de rugozitate, masuratori de grosime a straturilor transparente
  • Domeniul de masura pe verticala : 400 µm ; Domeniul de masura pe orizontala: pana la 8.6 x 6, in functie de obiectiv
  • Obiective: Michaelson (2,5x, 5x), Mirau (10x, 20x, 50x), Linnik (10x, 20x, 100x)
  • Sursa lumina: Iluminare Koller (Microsurf 3D) sau LED (PhotoMap3D si ZoomSurf3D)
  • Reflectivitatea poate fi variata in functie de proba (5%,25%,50%,85%)
  • Work station: Pentium sau Athlon cu ecran plat 17"
  • Software: FOGALE 3D
  • Solutii MEMS: analiza vibratiilor la sistemele MEMS sau MOEMS

Analizor de spectru (<10MHz) 40GHz expandabil pana 110 GHz cu mixere externe.

Analizorul de spectru este un echipament esential in caracterizarea circuitelor de inalta frecventa si in analiza canalelor de comunicatii.

Principalele caracteristici ale analizorului de spectru sunt:

  • Masuratori de banda ingusta,
  • zgomot scazut- tipic <-143 dB

intermodulatii mici si anume:

  • modulatia de ordinul 3: < -30 dBm
  • modulatia de ordinul 2: < -45 dBm
  • High speed time domain sweep,
  • Sweep signal output,
  • Mixere externe pentru analizorul de spectru 40-110 GHz,
  • cabluri de interconectare

VNA - Modul de extindere a gamei de frecvente de la 65 GHz la 110GHz al analizorului vectorial (VNA)

Echipamentul permite caracterizarea la frecvente de functionare in gama 0.1 - 110 GHz, prin masurarea urmatoarelor marimi:

  • parametrii S (in modul si faza);
  • factorul de calitate, frecventa de rezonanta pentru elemente pasive de circuit,
  • caracteristicile de radiatie ale antenelor;
  • pierderile pe linii si in dispozitivelede microunde si unde milimetrice.

De asemenea se pot calcula marimile derivate:

  • coeficient de reflexie,
  • impedanta caracteristica,
  • impedanta de intrare,
  • constante dielectrice
  • εr - permitivitate electrica relativa,
  • tg(δ): tangenta unghiului de pierderi utilizand parametrii enumerati mai sus.

Principalele caracteristici ale analizorului vectorial sunt:

  • Acoperire larga, continua, in frecventa de la 0.4 la 110 GHz,
  • Suporturi pentru caracterizare pe placheta,
  • Flexibilitate si extendabilitate,
  • Facilitati pentru calibrare si masurare (software pentru calibrare)