Rezultate

Achizitionarea unui interferometru in lumina alba (WLI white light interferometer) pentru analizarea tridimensionala a structurilor MEMS

Fogale Photomap 3D Standard - P3D 2006

 

Rezultatele caracterizarii cu interferometrul in lumina alba

Imagine 3D a structurii modului de receptie integrat monolitic pentru 60 GHz
realizat prin microprelucrarea GaAs

Dioda Schottky suspedata pe membrana din modulul de receptie integrat monolitic
pentru 60 GHz

Imagine 3D a diodei Schottky suspedata pe membrana

Determinarea inaltimii metalizarii utilizate pentru
contactul Schottky al diodei.

(click pentru marirea imaginii)

Determinarea inaltimii corodarii
mesa pentru contactul ohmic.

(click pentru marirea imaginii)

Determinarea latimii liniei centrale.
(click pentru marirea imaginii)
Observarea stresului introdus
(click pentru marirea imaginii)
Achizitionarea echipamentului destinat caracterizarii si testarii circuitelor pana la frecventa de 110 GHz

Echipamentul de caracterizare "on wafer" a parametrilor S, pana la 65 GHz, inainte de upgrade, achzitionat prin programul CEEX, Modul IV

Echipamentul dupa up-gradarea pana la 110 GHz

Analizorul vectorial in gama 0.8...65 GHz s-a achzitionat prin programul CEEX,
Modul IV. Up-gradarea lui la 110 GHz a fost realizata prin
concursul proiectului Capacitati SIMMCA si
al proiectului European FP7 MIMOMEMS.

Detalii ale echipamentului

Achizitie analizor de spectru pana la 110 GHz

Analizorul de spectru si cele 3 mixere
care fac posibila analiza semnalelor in
gama 0,1-110 GHz. Acest analizor a fost recent achizitionat
in cadrul proiectului SIMMCA

Analizorul de spectru (Anritsu) alaturi
generatorul de frecventa pana la 110 GHz (Agilent)
achizitionat pe proiectul FP7 MIMOMEMS

Analizorul de spectru masurand un
semnal de 30 GHz

Imagine din laboratorul de masuratori in domeniul
undelor milimetrice capabil de caracterizare ultraavansata,
pana la 110 GHz, a dispozitivelor si circuitelor


Rezultatele masuratorilor de parametrii S
direct
pe placheta in gama 65-110 GHz

 

Au fost efectuate masuratori ale parametrilor S pentru filtre de 77 GHz si de 94 GHz, de asemenea pentru antena de 77 Ghz si antena 94 GHz suspendate pe membrane de SiO2/Si3N4/SiO2.

Imaginea foto structura filtru 77 GHz de tip A

Parametrii S pentru filtru 77 GHz de tip A
Imaginea foto structura filtru 77 GHz de tip B

Parametrii S pentru filtru 77 GHz de tip B

Imaginea foto a antenei de 77 GHz

Parametrul S22 pentru antena de 77 GHz

Imaginea foto structura filtru 94 GHz

Parametrii S pentru filtru 94 GHz

Imaginea foto pentru antena de 94 GHz

Parametrul S22 pentru antena de 94 GHz

Linie de transmisiune CPW scurta (L =3900 μm)

Parametrii S pentru linia de transmisiune CPW scurta
Linie de transmisiune CPW lunga (L=4900 μm)

Parametrii S pentru linia de transmisiune CPW lunga

Imagine foto structura test corodare anizotropa

Parametrii S pentru structura test corodare