 |
 |
Experimentari preliminare de generare geometrii cu trasaturi submicronice cu echipament de litografie cu fascicul de electroni
 |
 |
 |
Imagine SEM a structurii “Geometric Structures” pentru verificarea scrierii figurilor importate ca bitmap.
Se observa o buna configurare a structurilor geometrice importate. In centru se observa o lentila Fresnel. |
Imagine a structurii test pentru verificarea corectiei astigmatismului fascicolului electronic. Se observa ca ma trebuie facuta o usoara corectie
|
Structura periodica de linii
“single pixel” (perioada 200 nm) – imagine de ansamblu |
