ACOMEMS

 

 
 

Home

Consortiu

Obiective

Grupuri de activitati

Microsisteme ce se vor dezvolta

Rezultate

 

 

 

 

 

 

 

 
 


1. Un modul receptie integrat hibrid bazat pe microprelucrarea siliciului, pentru frecventa 77 GHz. In acest scop, o antena Yagi pentru 77 GHz va fi proiectata, fabricata si integrata hibrid cu o dioda Schottky flip-chip, realizata pe GaAs. Frecventa de 77 GHz este alocata pentru sistemele de anticoliziune auto. Antena va avea ca support o membrana dielectrica formata din sandwichul Si02/Si3N4/ Si02 cu grosimea de 1.5mm. Modulul de receptie va demonstra avantajele tehnologiilor de microprelucrare pentru sistemele de comunicatie avansate. Senzitivitatea acestui modul de receptie va fi ai mare de 1800 mV/mW la o excitatie izotropica de -20dBm. Cistigul antenei va fi mai mare de 9 dBi la frecventa 77 GHz.
2. Un modul receptie integrat monolitic bazat pe microprelucrarea GaAs pentru frecventa de 60 GHz. Acest receptor va avea o configuratie originala bazata pe integrarea monolitica pe aceeasi membrana subtire de GaAs semiizolator (2mm) a unei antene Yagi-Uda (avand o topologie noua) cu o dioda Schottky. Se vor utiliza tehnici noi de microprelucrare si procesare a GaAs pentru realizarea acestui modul integrat microprelucrat. Senzitiviatea demonstratorului acestui modul de receptie va fi mai mare de 2000 mV/mW la o excitatie izotropica de -20dBm. Castigul antenei va fi mai mare de 10 dBi la frecventa 60 GHz. Modulul va fi destinat unor aplicatii de identificare in unde milimetrice (MMID).
3. Rezonatori de tip FBAR pentru banda 2-5 GHz, bazate pe microprelucrarea semiconductorilor de banda larga (GaN si AlN). Rezonatoarele, bazate pe materiale semiconductoare cu banda interzisa larga, vor juca un rol important in viitoarele sisteme de comunicatii in domenul microundelor datorita proprietatilor piezolectrice. Se va utiliza pentru prima data microprelucrarea AlN si GaN pentru realizarea structurilor de tip FBAR. Factorul de calitate al demonstratoarelor rezonatorilor de tip FBAR va fi Q> 500 la frecventa de 2 GHz. Se va realiza de asemenea un studiu de laborator pentru realizarea filtrelor pe baza de structuri de tip FBAR.