CENTRU DE NANOTECHNOLOGIE, SUB EGIDA ACADEMIEI ROMANE
laborator in Institutul National de Cercetare-Dezvoltare in Microtechnologie (IMT-Bucuresti)
Str. Erou Iancu Nicolae, nr. 32B 077190, Bucuresti, Romania
http://www.imt.ro, Telefon: +4021.4908412 ext. 33,Fax: +4021.4908238
Home | Directiile de cercetare | Colectivul de cercetare | Prezentarea programelor de cercetare | Infrastructura de cercetare |
Rezultate | Cursuri electronice | Cooperari internationale | Premii |

    Centrul de Nanotehnologie are acces la facilitatile existente in IMT, dupa cum urmeaza:
Camera alba (clasa 100); Fabricarea de masti Fotolitografice; Masina de aliniere si expunere simpla si dubla fata pentru plachete de 3 si 4 inch; Spinner pentru depunere material fotosenzitiv; Echipamente tehnologice pentru procesarea siliciului : CVD si PVD pentru procese termice,Echipament de corodare in plasma; Echipament de ultrasonare; Spectro- Ellipsometru UV-VIS; AFM.
Alte facilitati ale Centrului de Nanotechnologie sint: Keithley model 6487-picoampermetru /sursa incorporata; Instalatie de porozificare a siliciului; Trace LabVoltaLab 50 (PST050 & VoltaMaster 4)-combina de voltametrie; Etuva termostata pentru tratamente specifice ale materialelelor biologice; Microscop de tramsmisie si reflexie cu modul de fluorescenta si sistem de achizitie al imaginilor.