Ro, Eng

Duplexoarele sunt circuite utilizate în sistemele de transmisie/recepție pentru separarea traseelor de semnal de frecvențe diferite conectate la aceeași antenă. În cazul comunicațiilor de satelit se utilizează cu precădere banda de frecvențe între 8 – 12 GHz, denumită și „banda X”. Circuitele destinate acestor aplicații trebuie să satisfacă cerințe stricte de performanță, precum și dimensiune și greutate redusă și capacitatea de operare în condiții extreme de mediu.
În acest scop, s-au dezvoltat circuite de filtre și duplexoare integrate monolitic pe straturi piezoelectrice subțiri bazate pe rezonatoare cu undă acustică de suprafață cu frecvențe de operare în banda X (8 – 12 GHz) cu traductoare interdigitate cu lățimi de 100 – 200 nm. S-au folosit metode avansate de modelare și proiectare bazate pe simulări multifizice, simulări 3D electromagnetice și simulări de circuit cu extragere de parametri de model. Structurile au fost fabricate cu tehnologii nanolitografice și au fost măsurate cu echipamente dedicate.

Această nouă clasă de circuite este compatiblă cu tehnicile de integrare monolitică cu componente active și pasive fabricate cu o platformă tehnologică bazată pe nitruri ale elementelor din grupa a III-a (Ga, Al, Sc). Nivelul de maturitate tehnologică TRL 4 („Validarea componentelor și/sau a ansamblului în condiții de laborator”) deschide noi oportunități pentru aplicații în tehnologiile 5G/6G.

(a)	(b)
(c)	(d)

Filtru trece bandă integrat monolitic cu rezonatoare cu undă acustică de suprafață și frecvență centrală de operare de 8.06 GHz: (a) model 3D electromagnetic; (b) structură fabricată cu arie totală de 0.75 x 2.9 mm²; (c) detaliu obținut cu microscopul electronic cu baleiaj (SEM) al traductoarelor interdigitate de 130 nm; (d) caracterizare experimentală [A.C. Bunea et al., EuMW 2022].